
半導体製造装置は半導体を製造するための機械ですので、装置の製造工程においてもただ清潔であることだけではなく、真空状態での使用を前提とした洗浄が求められます。また、部品単位で傷や打痕がないことは前提として、切削工具での加工だけではなく、気密状態を保持するためのシール面にはヘール加工が求められる上、部品単体を製造した履歴を追うことが出来るトレーサビリティも要求されます。さらに組立工程では、真空状態で使用される個所に関しては専用のネジ類の使用も必要となります。 OEM装置設計・製造.comを運営するZESTIAでは、上記の要求事項に完全に対応すると同時に、法規制に沿った半導体製造装置の製造・組立を行うことが可能です。